• “上海精神”的新时代内涵(望海楼) 2019-08-18
  • 吕梁:交口公安侦破“5.24”疯狂砸车玻璃盗窃案 2019-08-16
  • 肖邦故里的冬日问候——钢琴家马雷克奏响新春祝福马雷克-布拉查 2019-08-16
  • 甜粽还是咸粽?来看动物们的专属粽子有什么馅儿 2019-08-15
  • 吉利远景优惠0.5万元 购车有礼颜色可选 2019-08-13
  • 高清:“集装箱”城市公园落户杭城 2019-08-13
  • 武警宁夏总队机动支队进行实战化训练考评 2019-08-12
  • 勤劳的女人最美丽 河南温县“农家女”创业带富乡邻 2019-08-12
  • 初夏时节 航拍江西宜丰野生泡桐花美丽绽放 2019-08-11
  • 江西乐平工业园 红色污水在管委会门前直排 2019-08-08
  • 价值-热门标签-华商生活 2019-08-08
  • 【新时代 新作为 新篇章】牢记嘱托 打赢脱贫攻坚战 2019-08-03
  • 李思思产后复工晒自拍美照 感慨爱子成长尽显母爱 2019-07-22
  • 十九大代表白玛央金:山乡明天更美好   2019-07-21
  • 传统车企怎么造新能源车?通过Velite 6的电池找答案 2019-07-21
  • 守护福六肖中特:非对称脉冲磁控溅射的工作原理

    来源:真空技术网(六肖中特最准网站 www.tdmee.tw)真空技术网整理 作者:真空技术网

    六肖中特最准网站 www.tdmee.tw   脉冲磁控溅射一般使用矩形波电压,这不仅是因为用现有的电子器件采用开关工作方式可以方便地获得矩形波电压波形,而且矩形波电压波形有利于研究溅射放电等离子体的变化过程。图1为用于脉冲溅射的矩形波电压波形,脉冲周期为T,每个周期中靶被溅射的时间为T-ΔT,ΔT为加到靶上的正脉冲时间 (宽度) 。V和V分别为加到靶上的负脉冲与正脉冲的电压幅值。为了保持较高的溅射速率,正脉冲的持续时间ΔT要远小于脉冲周期T。

      为了能在较短的ΔT时间内完全中和靶面绝缘层上累积的正电荷,靶面上的正电压V不能过低,但一般也不高于100V。由于所用的脉冲波形是非对称性的,因此得名为非对称脉冲磁控溅射。

    非对称脉冲磁控溅射的工作原理

    图1 用于脉冲反应溅射的矩形波电压波形

      脉冲溅射与中频双靶溅射不同,它一般只使用一个靶。采用脉冲反应磁控溅射技术,P.F rach等实现了长时间稳定的Al2O3薄膜沉积,沉积速率达到240 nm/min,制备的Al2O3薄膜厚度达50μm。由于成功地消除了靶的打火,Al2O3薄膜中的缺陷减少了3~4个数量级[12]。脉冲反应磁控溅射在沉积Si O2、Ti Ox、Ta Ox、Si Nx、DLC、Al2O3、ITO等多种薄膜的过程中都显示了它的优越性。

      脉冲溅射对于靶材的散热更有利,也就是有可能以高功率脉冲供电,因此,溅射工艺有更大的选择性和灵活性。中频交流磁控溅射技术和非对称脉冲溅射技术的出现,为化合物反应溅射成膜技术实现工业化奠定了基础。

      非对称脉冲磁控溅射的工作原理为真空技术网首发,转载请以链接形式标明本文首发网址。

      //www.tdmee.tw/application/sputter-coating/057176.html

      与 真空溅射镀膜 磁控溅射 相关的文章请阅读:

      真空溅射镀膜//www.tdmee.tw/application/sputter-coating/

  • “上海精神”的新时代内涵(望海楼) 2019-08-18
  • 吕梁:交口公安侦破“5.24”疯狂砸车玻璃盗窃案 2019-08-16
  • 肖邦故里的冬日问候——钢琴家马雷克奏响新春祝福马雷克-布拉查 2019-08-16
  • 甜粽还是咸粽?来看动物们的专属粽子有什么馅儿 2019-08-15
  • 吉利远景优惠0.5万元 购车有礼颜色可选 2019-08-13
  • 高清:“集装箱”城市公园落户杭城 2019-08-13
  • 武警宁夏总队机动支队进行实战化训练考评 2019-08-12
  • 勤劳的女人最美丽 河南温县“农家女”创业带富乡邻 2019-08-12
  • 初夏时节 航拍江西宜丰野生泡桐花美丽绽放 2019-08-11
  • 江西乐平工业园 红色污水在管委会门前直排 2019-08-08
  • 价值-热门标签-华商生活 2019-08-08
  • 【新时代 新作为 新篇章】牢记嘱托 打赢脱贫攻坚战 2019-08-03
  • 李思思产后复工晒自拍美照 感慨爱子成长尽显母爱 2019-07-22
  • 十九大代表白玛央金:山乡明天更美好   2019-07-21
  • 传统车企怎么造新能源车?通过Velite 6的电池找答案 2019-07-21
  • 湖北麻将红中赖子杠 重庆时时彩分析软件计划 篮彩让分胜负加时算吗 山西体彩新十一选五开奖结果 6十开奖结果查询 黑龙江时时彩app下载 江苏时时技巧集锦 二人麻将规则 澳大利亚幸运5 赛车pk拾开奖查询