• “上海精神”的新时代内涵(望海楼) 2019-08-18
  • 吕梁:交口公安侦破“5.24”疯狂砸车玻璃盗窃案 2019-08-16
  • 肖邦故里的冬日问候——钢琴家马雷克奏响新春祝福马雷克-布拉查 2019-08-16
  • 甜粽还是咸粽?来看动物们的专属粽子有什么馅儿 2019-08-15
  • 吉利远景优惠0.5万元 购车有礼颜色可选 2019-08-13
  • 高清:“集装箱”城市公园落户杭城 2019-08-13
  • 武警宁夏总队机动支队进行实战化训练考评 2019-08-12
  • 勤劳的女人最美丽 河南温县“农家女”创业带富乡邻 2019-08-12
  • 初夏时节 航拍江西宜丰野生泡桐花美丽绽放 2019-08-11
  • 江西乐平工业园 红色污水在管委会门前直排 2019-08-08
  • 价值-热门标签-华商生活 2019-08-08
  • 【新时代 新作为 新篇章】牢记嘱托 打赢脱贫攻坚战 2019-08-03
  • 李思思产后复工晒自拍美照 感慨爱子成长尽显母爱 2019-07-22
  • 十九大代表白玛央金:山乡明天更美好   2019-07-21
  • 传统车企怎么造新能源车?通过Velite 6的电池找答案 2019-07-21
  • 六肖中特永久免费公开:多功能真空校准装置的校准原理方法

    来源:真空技术网(六肖中特最准网站 www.tdmee.tw)上海卫星装备研究所 作者:彭光东

    六肖中特最准网站 www.tdmee.tw 1、真空规校准

      利用静态稳压比对法校准低真空规管,原理是通过微调阀向校准室注入一定量的气体并使压力稳定,通过被校规测量的数值与标准规测量的数值进行比较,获得被校规的相关参数。该方法适用于测量范围在1×10-1 Pa~133kPa 内的规管校准。因为校准压力较高,为避免校准气体对超高真空室的极限真空的影响,设计选用稳压室兼做低真空校准室。作为校准室,需要排除真空室自身放气的影响,因此低真空校准室工作本底真空度需优于1×10-3 Pa。同时要求该校准室的极限真空优于1×10-4 Pa 来保证真空室自身的低泄漏率,避免泄漏的因素对测量结果带来误差。校准的标准规选用inficonCDG045 系列电容薄膜规,该系列薄膜规具有45℃温包,温度恒定,减少周边环境温度变化对规测量结果的影响,且该型薄膜规具有对气体选择性小、精度高、重复性好等特点。通过配备三只标称量程分别是1000Torr、10Torr 和0.1Torr (1Torr=133Pa) 等于的电容薄膜规可以很好的覆盖1×10-1 Pa~133kPa 的校准量程范围,测量精度也能达到校准要求。

      利用动态比对法校准高真空规管,方法为利用稳压室建立气体的稳压源,通过高精度的微调阀将气体不断地注入校准室,同时保持分子泵机组对真空校准室的抽气,并通过微调阀调节气体的流量,使校准室真空度维持在校准的真空度范围内。为了保证校准室气流的稳定,校准室入口设计有散流板进行散流,双球室之间通过小孔板稳定气体气流。该方法适用于1×10-1 Pa~1.0×10-4 Pa 范围的规管校准。一般要求校准室的工作本底真空度优于1×10-6 Pa。标准规采用布鲁克斯的GP370 真空规,同时通过四极质谱计获得的离子流的参数,换算出相应的分压力值。微调阀采用安捷伦的面密封阀。

    2、漏孔校准

      漏孔校准采用四极质谱比对法校准。比对法校准较小漏率真空漏孔时,为了得到与被校漏孔相同或相近的气体流量,一般采用固定流导法作为标准气体流量获得的手段,该方法具有结构简单、操作方便、测量不确定度小、校准精度高等优点。

      原理为利用已知流量的标准漏孔,通过稳压室压力的调节,向双球校准室注入稳定流量的气体,并利用分子泵机组对真空校准室持续抽气,并通过微调阀调节气体的流量,使校准室压力维持在合适的校准压力范围内,为校准室建立起漏孔气体的动态平衡。首先利用四极质谱计获得标准漏孔的离子流参数,再切换到被较漏孔,获得被较漏孔状态下的四极质谱计离子流。通过公式(1)计算得出被较漏孔漏率数值。

    多功能真空校准装置的校准原理方法

      式中:QL—被较漏孔的漏率,Pa·m3/s;

      IL—被校漏孔微流量对应的离子流,A;

      IS—标准漏孔微流量所对应的离子流,A;

      I0—系统本底离子流,A;

      Q—标准漏孔的漏率,Pa·m3/s。

      多功能真空校准装置的校准原理方法为真空技术网首发,转载请以链接形式标明本文首发网址。

      //www.tdmee.tw/systemdesign/067123.html

      与 真空系统 多功能真空校准装置 相关的文章请阅读:

      真空系统//www.tdmee.tw/systemdesign/

  • “上海精神”的新时代内涵(望海楼) 2019-08-18
  • 吕梁:交口公安侦破“5.24”疯狂砸车玻璃盗窃案 2019-08-16
  • 肖邦故里的冬日问候——钢琴家马雷克奏响新春祝福马雷克-布拉查 2019-08-16
  • 甜粽还是咸粽?来看动物们的专属粽子有什么馅儿 2019-08-15
  • 吉利远景优惠0.5万元 购车有礼颜色可选 2019-08-13
  • 高清:“集装箱”城市公园落户杭城 2019-08-13
  • 武警宁夏总队机动支队进行实战化训练考评 2019-08-12
  • 勤劳的女人最美丽 河南温县“农家女”创业带富乡邻 2019-08-12
  • 初夏时节 航拍江西宜丰野生泡桐花美丽绽放 2019-08-11
  • 江西乐平工业园 红色污水在管委会门前直排 2019-08-08
  • 价值-热门标签-华商生活 2019-08-08
  • 【新时代 新作为 新篇章】牢记嘱托 打赢脱贫攻坚战 2019-08-03
  • 李思思产后复工晒自拍美照 感慨爱子成长尽显母爱 2019-07-22
  • 十九大代表白玛央金:山乡明天更美好   2019-07-21
  • 传统车企怎么造新能源车?通过Velite 6的电池找答案 2019-07-21
  • 四川时时vv平台下载 福建时时规则倍数 华东联销c515玩法 国标麻将单机游戏下载 群英会任六胆拖中奖规则 12126期浙江20选5 时时彩看走势好的app 江西时时查询 竞彩足球开奖最新查询 多赢彩票手机版下载安装